日本TORAY東麗半導體制造MS-500氧氣分析儀的技術參數

氧氣分析儀半導體、電子元件用氧氣分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

型號：MS-500

可同時測量多達 8 個點

顯示濃度范圍很廣，從ppm級到100

適合安裝在半導體制造設備、真空設備等中。

直接插入式傳感器（NW 16/25/40 法蘭，用于真空）

高耐久性傳感器采用特殊涂層，以提高其耐久性。

MS-500 規格

測量原理

氧化鋯濃縮池類型

類型

分體式（轉換器：壁掛式；傳感器：直接插入式）

顯示系統

4位數字顯示屏（濃度顯示屏）

測量范圍

0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol O? 10-20　～10-0 atm自動 量程

重復性

滿量程的±0.5%以內；范圍為0-1%或以上。
滿量程的±1%或±0.1 ppm以內，以較大者為準；范圍小于0-1%
。濃度在0-1 ppm（大氣壓）范圍內不在保修范圍內。

測量點數量

1～8

樣品氣體需求

壓力

10 -3至 200KPa（壓力）

流速

0.5 至 5,000 毫升/分鐘 或 0 毫升/分鐘（自然分散狀態下測量）

濕度

露點低于環境溫度

溫度

0 至 100°C

其他的

不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫磺氣等）、含有機硅的氣體、易燃物質（包括氣體）、油或水分。

參考氣體

氣氛

錄音機輸出

僅傳輸輸出

傳輸輸出

RS-232C

報警輸出

沒有任何

熱身時間

6分鐘或更短

方面

MS-500（控制器）

92 毫米（寬）×44 毫米（高）×120 毫米（深）（不含突出部分）

MS-510（轉換器）

100 毫米（寬）×40 毫米（高）×88 毫米（深）（不含突出部分）

傳感器單元

SD16NW

總長度100mm（傳感器直徑11×39mm，機身直徑40×51mm）

SD25NW

總長度100mm（傳感器直徑11×42mm，機身直徑40×48mm）

SD40NW

總長度100mm（傳感器直徑11×41mm，機身直徑40×49mm）

重量

MS-500（控制器）

約0.6公斤

MS-510（轉換器）

約0.5公斤

傳感器單元

SD16NW

約0.2公斤

SD25NW

約0.2公斤

SD40NW

約0.35公斤

外部連接

任何真空法蘭（NW16、25 或 40）

力量

24VDC±10%